11月22日上午,安徽博泰电子材料有限公司总经理宋福全博士来我院作题为《金属电子化学品前驱体及其在CVD/ALD集成电路领域的发展机遇》的学术报告。
报告摘要
“芯片”是制约集成电路等半导体产业发展的关键材料,微电子化学品新材料作为芯片制程中必需的前驱体,其品种与质量已成为芯片制造的关键因素。本报告介绍的内容有:微电子化学品在ALD、CVD制程中的工艺原理、电子化学品产业在我国的市场前景及发展机遇、目前国际行业内使用的电子化学品的种类和特性、以及我国目前该领域的现状,为大学生今后就业选择提供参考信息。
个人简介
宋福全(SONG FUQUAN)博士,安徽博泰电子材料有限公司总经理和技术总监。河北省“百人计划”入选者,河北省政府特殊津贴享受者,安徽省战略性新兴产业领军人才。于1998年8月取得香港中文大学化学系博士学位。1999.2至2004.2在英国利兹大学(Leeds University)和东安格拉大学(East Anglia University)的专项课题做高级研究学者(Senior Research Fellow),期间,在国际学术杂志—美国化学会杂志(J.A.C.S)等专业杂志发表数篇学术论文,论文在行业内被广泛引用。
2004.2作为高级科学家(Senior Scientist)就职于西格玛-奥德里奇,赛福斯高科技(Sigma-Aldrich, SAFC-Hightech),主要从事新型金属有机化合物的研究与开发工作。
2012年在保定参与创办保定博泰,2016年作为主要负责人创办安徽博泰电子材料有限公司,主要研发和生产高端电子化学品,开发了包括三甲基铝、三甲基镓、三甲基铟、三乙基镓、三辛基膦、三丁基膦、氨基金属化合物等多种电子级新材料,通过多次小试、中试试验,其放大与生产工艺技术,达到了国际领先水平。已经获得了多项发明专利和实用新型专利,项目产品属于国家定位的“02”专项课题。